大量生产实践已经证明，齿轮采用真空加热停火工艺可以明显减小热处理睛变。因此，该项技术已经广泛应用于精密齿轮等的淬火处理。
实例高精度数控机床环形齿轮， 材料为40CrNi钢，精度等级要求5级。
(1)齿轮加工工艺路线锻造→退火[ (880 ~900)C x2h, 炉冷]一粗车+正火(860C x1.5h,空冷)→高温回火(650Cx2h, 缓冷)→滚齿→粗拉键槽→消除应力(200 x24h) - +精拉削键槽→真空加热淬火、回火→磨削内孔。
(2) 真空热处理工艺选择Ac, + 10C较低的淬火温度，并采取阶梯式升温方式，保温系数3min/mm。为了减少齿轮的圆度畸变，采用平放方式，使齿轮各部位加热均匀。采用133Pa真空度下加热保温。低真空下66.6Pa油冷(真空淬火油)。回火(160~中180)C x (3~4) h在空气炉中进行。其微小畸变真空淬火工艺曲线如图7-99所示。
(3)齿轮畸变检验内孔畸变量<真空淬火工艺曲线0. 06mm，内孔圆度误差≤0.015mm,键槽宽度变化≤0.015mm,达到5级精度要求。齿轮表面硬度47 ~49HRC,金相组织为马氏体。
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